在超精密加工中，振動(dòng)是一種非常有害的現(xiàn)象，會(huì)嚴(yán)重影響被加工零件的表面質(zhì)量和性能。超精密加工中的振動(dòng)源是來自機(jī)床內(nèi)部的振動(dòng)和來自機(jī)床外部的振動(dòng)。目前，減少振動(dòng)影響的方法主要有三種：提高機(jī)床的穩(wěn)定性；消除或減少機(jī)床中的振動(dòng)；減少外部振動(dòng)的影響。下面詳細(xì)說明防振隔振問題..

1，提高了機(jī)器的穩(wěn)定性

超精密機(jī)床對機(jī)床結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性要求很高，即各部件尺寸穩(wěn)定性好，剛性高，變形小，結(jié)構(gòu)的振動(dòng)和阻尼性能好。

(1)各組分尺寸穩(wěn)定性良好

使用尺寸穩(wěn)定性好的材料制作機(jī)床零件，如陶瓷，花崗巖，尺寸穩(wěn)定性好的鋼材，合金鑄鐵等..不僅通過消除應(yīng)力，時(shí)效，冷處理，澆鑄慢冷等方法使構(gòu)件具有高度的尺寸穩(wěn)定性。

（2）高剛性的結(jié)構(gòu)，變形小

當(dāng)機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件的位置發(fā)生變化時(shí)，工件的裝卸或載荷的變化、力的變化等，都會(huì)引起變形。要求結(jié)構(gòu)剛度高，變形小，不影響加工精度。接觸面接觸良好，接觸剛度高，變形小。

2. 消除或減少機(jī)床的振動(dòng)

在超精密機(jī)床中使用金剛石工具進(jìn)行超精密切削時(shí)，要求機(jī)床工作平穩(wěn)，不允許振動(dòng)，因此必須提高機(jī)床結(jié)構(gòu)的抗振能力，以減少機(jī)床內(nèi)部的所有振動(dòng)。

3，減少外部振動(dòng)的影響

這也是超精密機(jī)床中一個(gè)非常重要的問題。現(xiàn)在使用的方法是：

(1)超精密機(jī)床應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離振源: 機(jī)床附近的振源，如空氣壓縮機(jī)、泵等應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離振源。 當(dāng)無法移動(dòng)時(shí)，應(yīng)采用單獨(dú)的基礎(chǔ)，添加避震等措施，以盡量減少振動(dòng)對超精密加工的影響。

（2）超精密機(jī)床采用獨(dú)立基礎(chǔ)、隔斷溝、隔振墻等：為了減少外界振動(dòng)的干擾，基礎(chǔ)應(yīng)有足夠的深度，基礎(chǔ)周圍應(yīng)有隔振溝，溝內(nèi)應(yīng)采用減振材料。

（3）利用空氣隔離墊（也稱為空氣彈簧）現(xiàn)在下的超精密機(jī)床和精密測量平臺(tái)用于自動(dòng)發(fā)現(xiàn)振動(dòng)的空氣的隔離墊的水平，它通常可以從外部的振動(dòng)比分離2HZ。小型機(jī)床隔離由三個(gè)空，大型機(jī)器帶有四個(gè)空氣隔離墊支架支撐。用空氣隔離墊支撐機(jī)之后，現(xiàn)在已經(jīng)達(dá)到了以隔離輸入1.5-2HZ鋼的涂覆的振動(dòng)頻率。

使用氣墊后，機(jī)床需要一個(gè)自動(dòng)找平的控制系統(tǒng)。當(dāng)機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件的運(yùn)動(dòng)中心發(fā)生變化時(shí)，仍能保持水平。方法是將兩臺(tái)相互垂直的電子水準(zhǔn)儀放置在機(jī)床上。當(dāng)機(jī)床上的運(yùn)動(dòng)部件由于中心的變化而不水平時(shí)，電子水準(zhǔn)儀會(huì)發(fā)出一個(gè)極限值。由于控制系統(tǒng)分為調(diào)節(jié)空氣隔離墊的氣壓，機(jī)床將回到水平位置。由于電子水準(zhǔn)儀的精度等級不同，可根據(jù)需要選擇，使機(jī)床的水平度達(dá)到要求。