在超精密機床和超精密加工，以使微位移機的分辨率進一步提高，同時也為機床和加工誤差進行補償，以提高形狀精密加工，需要使用微位移機構。高精度微自由基機理已經成為一個重要的超精密機床及關鍵功能部件。現在微位移機構已達到0.005--0.01微米的分辨率，這對于實現高的尺寸精度的加工誤差和補償線有用。

一。微量進給裝置要求

在超精密機床中，利用微進給裝置夾緊金剛石刀具，對刀具進行微調。 如在超精密磨削中，砂輪進給要求達到百分之幾微米; 在超精密車削中，金剛石刀具要保證亞微米的精度。

還采用微自由基機制來彌補超精密機床的微內聯誤差，要求位移分辨率達到幾微米..因此，良好的精密和超精確位移機構應滿足以下要求：

（1）進料和微妙的原油原料應分開，以提高精確度，分辨率和穩定性的微位移。

（2） 為了獲得高的重復精度，運動部件必須具有低摩擦和高穩定性。

(3)最終傳動元件必須具有高剛度，即金剛石刀具的夾緊位置必須具有高剛度。

（4）微進給機構內部的連接必須可靠，盡量保持最小的間隙和剛性連接，否則微進給機構很難達到高重復性。

（5）技術好，容易地制造。為了達到0.01微米飼料，微量元素機構本身的進給精度，應該是精度可以制造。

微進給裝置有多種結構形式，其工作原理也各不相同。根據精密和超精密微進給裝置的要求，只有彈性變型和壓電陶瓷微進給機構比較適合和成熟。

2. 彈性變形微進給裝置

彈性變形微進給器穩定可靠，重復性好..這種變形微進給裝置非常適合手動操作。

3. 壓電陶瓷微進給裝置

為了實現全自動微進給，要求微進給裝置具有較好的動態特性，現多采用壓電陶瓷微進給裝置..壓電陶瓷具有逆壓電效應和電致伸縮效應，這是介電變形在電場作用下的基本電耦合效應。電致伸縮效應的變形量與電場強度的平方成正比。壓電陶瓷在制造微型進給機構方面具有許多優點..

他可以實現高剛性無間隙位移可以實現極為精細微位移，更大的變形系數。高頻率響應，無熱量問題使沒有電流。